對於大型耗電、耗熱公用設備，如風機（kW/CMM）、冰水主機、空調箱與冷卻水塔（kW/RT）、水泵浦（kW/CMM）、空壓機（kW/CMM）等，建立設備用電能效的能源基線，並持續即時監控其用電能效及異常管理，以利於設備保養維護或汰舊換新，維持設備在高能效運轉狀態；或可參照如SEMI S23標準之精神量測估算相關重要耗能設備之能耗值，建立廠區能耗基線，並說明相關節能規劃。相關設備項目可參考下表：

(1) Exhaust

 (2) Vacuum

(3) CDA 

(4) High pressure CDA (827~1034 kPa gauge)

(5) Water cooled by refrigeration (ΔT = 5°C) 

(6) Water cooled by cooling-tower 

(7) UPW or DIW ( Temp. < 25°C) 

(8) Hot UPW or DIW ( Temp. > 85°C) 

(9) Heat load
Heat removal via air
Heat removal via water

(10) N2

2. 利用能源管理系統區分管理各類能源耗用占比及節能情形。