機台元件採用高能效產品或符合國際最新節能設施規範；相關元件節能項目可參考下列範例：
1. 高功率 單項或總合計 )或長時數運轉之馬達選用高能效產品如 CNS 14400 IE3等級以上 。
2. 電氣設施採變頻控制 如泵浦加裝變頻裝置或節能調節器等 )。
3. 高效率射頻產生器 RF Generator 電源供應器規格容量匹配射頻產生器之負載，避免過大設計 。
4. UPS具有節能模式之控制功能 。
5. 高效率熱轉換器 如低壓損、大溫差 。
6. 於製程許可下選用節能產品，或提供機台相關節能證明 符合或優於近三年之最新能效標準 。