就系統面如真空泵（vacuum pump）、（尾氣處理設備 local scrubber）、冷卻器 (chiller）、加熱器( heater）、排氣(exhaust）、壓縮乾燥空氣( CDA）、超純水 (ultrapure water）、氣體供應設備等提出機台系統端相關之節能設計方案（如：壓損、管徑設計、溫差、尾氣處理使用節能智慧控制等），或高能源效率機台選用之說明。